精密測量設備和儀器 | 超精密加工技術國家重點實驗室

實驗室於香港理工大學校園內的實驗室總部建有一萬級無塵超精密測量實驗室，並設有多部納米級測量系統。

Werth

多感應器測量設備
– WerthVideoCheck UA

Alicona

三維光學測量系統
– Alicona IFM G4

Zygo_NexView

非接觸光學表面輪廓測量系統

– New Zygo NexView

Form Talysurf PGI Freeform_2

接觸式相位光栅干涉測量系統
– Form Talysurf PGI Freeform

SEM_2

掃描電子顯微鏡測量裝備
– Thermo Scientific Apreo 2 SEM

Form TalySurf S2

二維激光干涉面形及表面粗糙度測量系統
– Form TalySurf Series 2

CMP_1

機械測試儀
– Bruker TriboLab CMP

Zygo

非接觸激光干涉表面形狀測量系統
– Zygo

Wyko NT8000

非接觸光學表面形狀測量系統
– Wyko NT8000

另外，實驗室亦設有以下測量儀器：
• Optikos QC bench 調製傳遞函數測量系統
• Konica Minolta 分光色度計 – CS-200
• Sindatek 光學影像接觸角測量儀 – 100SB
• Hitachi 掃描電子顯微鏡 – TM3000
• Parks Systems 原子力顯微鏡 – XE 70